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射頻電源和真空等離子體系統打包采購

基本信息

信息類型：采購公告

區域：廣東

源發布時間：2025-05-09

項目名稱：******[查看]

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冷水機

廣州諾雄機械設備有限公司

冷水機,冷油機,模溫機

彭紅艷

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分子泵

廣州潽拓光電科技有限公司

分子泵,真空泵,磁懸浮分子泵,EDWARDS磁懸浮分子

鄒濤

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控制柜

上海旋泉流體設備有限公司

消防泵,無負壓,控制柜,消防穩壓,手搖泵,排污泵

陳女士

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電機

納諾達克電子（常州）有限公司

一體化,電機,馬達,步進,無刷,線性執行器,閉環步

宋小軍

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真空泵

上海盈熾商貿有限公司

真空泵,真空計,渦輪分子泵,羅茨真空泵,氦質譜檢漏儀,質譜儀

魏

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項目名稱	射頻電源和真空等離子體系統打包采購
項目編號	SUSTech-JC-2025-00100
項目類型	貨物類
成交方式	最低價成交
采購方式	公開競采
公告開始時間	2025-05-09 11:08:06
公告結束時間	2025-05-16 11:08:06
預算(元)	480000.00
項目預算是否含稅	國產含稅
備注

采
購
明
細

序號

名稱

數量

單位

射頻電源

臺

是否接受進口	拒絕進口
品牌	無推薦品牌
型號	無推薦型號
技術規格及參數	1、電壓范圍：220VAC±20％，3線，帶地線（PE）； 2、頻率范圍：47Hz~53Hz； 3、輸入電流：5.3A； 4、浪涌電流：冷啟動40A； 5、功率因數：PF≥0.95（最大功率輸出時）； 6、效率：≥70％（輸出功率大于100W，并且負載為標準50歐姆時）； 7、輸出頻率：13.56MHz±50ppm； 8、功率：最小功率5W，最大功率600W，連續可調； 9、最大反射功率：100W,如果反射功率大于100W，射頻電源會降低輸出，保持發射不大于100W。
質保期	1.產品質保2年，質保期內維修免費（人為損壞因素除外），質保期以外設備的維護，只收取成本費。 2.為保證售后服務質量，設備必須提供制造廠家授權文件和售后服務承諾。 3.所響應產品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件）。
售后要求	24小時內響應客戶，重大問題48小時內到達現場

真空等離子體系統（核心貨物）

臺

是否接受進口	拒絕進口
品牌	無推薦品牌
型號	無推薦型號
技術規格及參數	1、真空腔室：尺寸φ500×H420mm,材質SUS304優質不銹鋼，圓柱形、前開門結構； 2、基片臺：尺寸φ150mm， 0～20轉/分鐘旋轉可調可控，加熱至500℃可調可控，基片臺帶有絕緣設計，可加負偏壓，配氣動擋板； 3、平面靶：3套3英寸平面靶，靶角度、靶基距免拆卸手動可調，帶獨立氣動擋板； 4、真空系統：采用復合分子泵（1200L/S）+直聯高速旋片式真空泵(9L/S)+高真空閥門+數顯復合真空計； 5、氣路：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm； 6、水路和空壓：配制冷量5.17KW冷水機；配最大排氣量115L/min空壓機； 7、自動恒壓系：薄膜規+電機驅動控制閥+控制軟件閉環自動控制；保持鍍膜時工藝壓力穩定； 8、電氣控制：PLC+觸摸屏半自動控制系統； 9、機架：機架和控制柜一體化設計，碳鋼制作，表面噴塑處理，配腳輪； 10、靶材：鉑99.99%，φ76.2×2mm，1塊；銅，φ76.2×3mm，1塊；鎳99.995%，φ76.2×2mm，1塊；鉻99.95% ，φ76.2×5mm，1塊；鎳鉻合金（鎳90:鉻10），φ76.2*5mm，1塊。
質保期	1.產品質保2年，質保期內維修免費（人為損壞因素除外），質保期以外設備的維護，只收取成本費。 2.為保證售后服務質量，設備必須提供制造廠家授權文件和售后服務承諾。 3.所響應產品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件）。
售后要求	24小時內響應客戶，重大問題48小時內到達現場